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有降溫功能真空烘箱,300度可降溫真空烤箱

有降溫功能真空烘箱,300度可降溫真空烤箱

簡要描述:

有降溫功能真空烘箱,300度可降溫真空烤箱用于鍵合預處理,晶圓,芯片,電容,電池,封裝,光刻膠固化,PI固化等

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有降溫功能真空烘箱,300度可降溫真空烤箱控制系統:

具備參數設定、工藝程序編寫功能,工藝過程可保存并輸出;

工藝結束提示音;

觸摸屏

PLC控制器

運行程式可保存不少于5個工藝菜單。

材質

(1)內部為304或316材質;

(2)外部材質:優質冷軋板噴塑;

(3)硅橡膠密封;

(4)內部采用圓角結構。

(5)冷卻水管材質:金屬水管和其他。 

內部尺寸:長×寬×高=600mm×500mm×500mm

腔門:帶有觀察窗。

擱架:配有不銹鋼的托盤;

真空控制系統

(1)配備數字真空控制器,顯示腔內相對壓強;

(2)配備干泵、真空檢測和顯示系統,真空壓力可控;

(3)真空泵:油泵或干泵

溫度控制系統

(1)可編程多段升溫程序;

(2)具備溫度校準功能。

安全保護系統

(1)接地保護裝置;

(2)超溫報警及保護裝置;

(3)加熱器短路保護裝置;

(4)壓力低壓報警;

配有三色指示燈及蜂鳴器提示機臺運行狀態。

有降溫功能真空烘箱,300度可降溫真空烤箱技術指標:

真空

(1)工藝真空度:≤133pa;

(3)通過真空電磁閥可實現真空度的控制。

溫度

(1)溫度范圍:室溫至300℃;

(3)溫度調節精度:≤±0.5℃;

(4)溫度穩定度:≤1℃;

(5)溫度波動度:≤1℃;

(6)降溫至室溫時間:<60min;

(7)升溫至200℃時間:<30min;

(8)可編程進行多段升溫。

潔凈度

可達class100(使用環境100級)

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